Axia ChemiSEM skenirajući elektronski mikroskop

SEM/EDS

Axia ChemiSEM je vrsta skenirajućeg elektronskog mikroskopa koji, za razliku od tradicionalnih SEM uređaja, uvijek prikuplja EDS podatke u pozadini. Koristi jedinstvene algoritme za simultanu obradu SEM i EDS signala, što omogućuje prikaz morfologije i elementarnog sastava uzorka zajedno, u stvarnom vremenu. Elementi u uzorku mogu se uključiti i isključiti, omogućujući da se izolira područja od interesa

Radni napon: 200V- 30kV Minimalna radna udaljenost: 3mm - Nosač: XY: 120 mm x 120 mm Nagib: od -15° do 90° Rotacija: 360° - maksimalna visina uzorka: 128 mm - maksimalna težina uzorka: 10 kg - širina komore: 280mm - Detektori: -Everhart-Thornley SE Detektor (ETD) -BSE detektor koji se uvlači (CBS) -TrueSight X EDS detektor sa ChemiSEM tehnologijom (rezolucija 129eV) -Optička navigacijska kamera u boji -CCD IR kamera za gledanje uzoraka u komori -SE detektor za niski vakuum sa podesivim tlakom do 150 Pa -katodoluminiscencijski detektor

-SE detektor za niski vakuum sa podesivim tlakom do 150 Pa -katodoluminiscencijski detektor - Beam Deceleration sa stage bias-om -4,00kV

Površina ispitivanog uzorka skenira se s vrlo precizno fokusiranim snopom elektrona. Upadni elektronski snop izbija elektrone iz atoma uzorka (sekundarne elektrone) koji se detektiraju na foto-multiplikacijskom detektoru. Pomoću mikroprocesora ovi signali pretvaraju se u električne signale pri čemu na ekranu nastaje realna trodimenzionalna slika površine uzorka. Elementna mikroanaliza zasniva se na principu da su X-zrake emitirane iz uzorka karakteristične za svaki kemijski element prisutan u uzorku (kvalitativna kemijska analiza). Intenzitet karakterističnog X-zračenja proporcionalan je udjelu svakog pojedinog kemijskog elementa u uzorku (kvantitativna kemijska analiza).

5-1000000x